光柵位移傳感器(光柵尺)又稱(chēng)為線(xiàn)位移傳感器,是一種屬于光電感應(yīng)的線(xiàn)性器件,傳感器的作用是把各種被測(cè)物理量轉(zhuǎn)換為電量。
隨著對(duì)測(cè)量精度要求的提高,以柵距為單位已不能滿(mǎn)足要求,需要采取適當(dāng)?shù)拇胧?duì)莫爾條紋進(jìn)行細(xì)分。位移傳感器所謂細(xì)分就是在莫爾條紋信號(hào)變化一個(gè)周期內(nèi),發(fā)出若干個(gè)脈沖,以減少脈沖當(dāng)量。如一個(gè)周期內(nèi)發(fā)出n個(gè)脈沖,則可使測(cè)量精度提高n倍,而每個(gè)脈沖相當(dāng)于原來(lái)柵距的1/n。由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖頻率提高了n倍,因此也稱(chēng)n倍頻。
通常用的有兩種細(xì)分方法:其一、直接細(xì)分。在相差1/4莫爾條紋間距的位置上安放兩個(gè)光電元件,可得到兩個(gè)相位差90°的電信號(hào),用反相器反相后就得到四個(gè)依次相差90°的方波信號(hào)。同樣,在兩莫爾條紋間放置四個(gè)依次相距1/4條紋間距的光電元件,也可獲得四個(gè)相位差90°的方波信號(hào),實(shí)現(xiàn)四倍頻細(xì)分。其二、電路細(xì)分。
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